破壁者尹志尧

2004年，一位60岁的儒雅的科学家从美国硅谷飞抵上海浦东。

在出租车上，他打趣地让司机猜猜他多大年纪。出租车司机打量他后笑道：“您看起来只有38岁！”他闻言爽朗地大笑：“太好了，以后我就是38岁的人！”

这位科学家，正是被誉为“中国芯片刻蚀机之父”的尹志尧。此刻，他正把人生刻度重置到“中国芯”的起跑线上。

2025年1月15日，在“企业家之夜”的活动现场，81岁的尹志尧手捧鲜花，作为当天晚上年龄最大的获奖者，接受大家的致敬。

已至耄耋之年的他，还神采奕奕地指挥着北京四中合唱团的学生们，唱响了《中微之歌》。

伴随着学生们充满激情的歌声，关于尹志尧的传奇故事也悄然展开。

从北大学子到硅谷精英

对许多人来说，“刻蚀机”是一个陌生的词语。但在高科技领域，它是半导体制造中不可或缺的核心设备之一，更是我国制造“中国芯”的基石。

正是在尹志尧及其团队的努力下，中国才得以自主生产刻蚀机，并迫使美国取消了对我国出口刻蚀机的禁令。如今，尹志尧和他的团队研发的刻蚀机，其精度领先于国外一些主要刻蚀机的。

正因如此，很多人说，“尹志尧”这个名字注定会被载入史册。

1944年，祖籍安徽的尹志尧，出生于北京一个知识分子家庭。由于祖父和父亲都曾在国外留学，尹志尧在文化氛围浓厚的环境中长大，接受了良好的教育。高中毕业后，尹志尧考入中国科学技术大学化学物理系，后在兰州炼油厂和中国科学院工作。

1978年，尹志尧考入北京大学化学系读硕士研究生。当时北京大学有国内最先进的计算机，可内存只有128KB。而彼时的尹志尧并不知道，未来有一天，他主持研发的设备，在芯片加工上的工艺水平，相当于在一颗米粒上雕刻出10亿个汉字。

1980年，36岁的尹志尧在亲戚的帮助下赴美留学。4年后，他以优异的成绩拿到美国加利福尼亚大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。毕业后的尹志尧，进入美国硅谷半导体巨头英特尔公司，开启了他传奇般的科技人生。工作两年后，他跳槽到华人林杰屏创建的泛林集团。

在泛林集团工作的5年中，尹志尧从研发部资深工程师做到了资深经理，还开发出了“彩虹号”等离子刻蚀机。有了尹志尧这员干将，泛林集团得以快速发展。在硅谷，各大半导体公司争相拉拢，欲将尹志尧招入麾下。

1991年，尹志尧接受了美国应用材料公司的邀请，担任公司总部的首席技术官。在他的牵头下，应用材料公司相继研发出多款新型刻蚀机。

在半导体行业深耕20年，尹志尧一共拥有280多项专利，这个行业有一半企业都用过他参与研发的设备。基于他的成就和对应用材料公司的贡献，尹志尧被任命为公司副总裁。

此时，尹志尧已经过上了财富自由的生活。在硅谷打拼的华人虽然为数不少，但有如此成就者实属凤毛麟角，尹志尧堪称硅谷传奇。

2004年，60岁的尹志尧面临退休。在世人看来，他在异国他乡辛苦打拼半生，如今优渥清闲的退休生活马上可以实现，是到该享受人生的时候了。

然而，命运却在这时，给了尹志尧新的选择。

60岁的热血

这一年，在一次国际半导体设备展览会上，尹志尧邂逅了在上海担任领导职务的江上舟。正是这次见面，改变了尹志尧的人生轨迹。

江上舟是尹志尧在北京四中的校友，毕业于清华大学无线电专业的他，很早就意识到发展集成电路的重要性。

当时，我国的芯片来源主要靠进口，而以美国为首的西方国家，动不动就把芯片纳入管制范畴。江上舟深知，要打破这个局面，变被动为主动，最好的办法就是实现芯片的自主生产。

当时中芯国际已经落户上海，如果刻蚀机也能实现国产化，那“中国芯”的制造必将如虎添翼。于是，江上舟向刻蚀机专家尹志尧发出了邀请，他诚恳地说：“回来吧，我们一起干，我已经身患癌症，哪怕豁出这条命，也要造出中国自己的刻蚀机，这样就再也不怕外国人卡我们的脖子了。”

听到老同学的肺腑之言，尹志尧的血液沸腾了。他想到自己的父辈，他们不管面对多少诱惑，都坚定地选择回国，积极投身于国家建设之中。而自己这20年来，一直在美国工作，没有用自己的学识来回报祖国。

在美国生活多年的尹志尧心里很清楚，即便美国再发达，也无法给他带来归属感。只有中国才是他的根，这一点永远不会变。

现在，是时候回去为祖国效力了。尽管没有任何创业经验，可60岁的尹志尧，毅然带领15人的团队飞抵上海，在浦东创办了中微半导体设备公司（以下简称“中微公司”）。

那时，我国的集成电路产业刚刚起步，资金、人才、设备方面都存在较大缺口，加上刻蚀机的研制与生产极其复杂，这些因素使得尹志尧的创业之路无比坎坷艰辛。

可无论多大的困难，都阻碍不了他为祖国研制刻蚀机的激情和决心。政府投入的资金消耗殆尽后，他开始四处融资。没有做微观设备所需的专业技术人才，他就从各大院校招聘相关专业的学生来培养。

2007年，中微公司第一台CCP（电容耦合等离子体）刻蚀机交付成功，这可是中国自己制造的大国重器啊！这也标志着“中国芯”的研发进程，取得了巨大突破。

对于刻蚀机，尹志尧有过一个比喻。他说芯片制造，好比在人的头发丝的几千分之一，甚至几万分之一的尺度上，盖一座五六十层的大楼。这是需要多部门、多设备协同作战的。其中最关键的几种设备里，薄膜机负责铺好材料，光刻机在上面画好花纹，然后刻蚀机再把多余的地方剪掉，像剪窗花一样。

随着科技的发展，芯片的体积越来越小，精度越来越高，加工步骤越来越多，刻蚀机的作用也就越来越大。

从被动防御到主动破局

逆境突围数年后，尹志尧带着他的团队攻克了一个个难关，将刻蚀机的精度从14纳米推进到7纳米，再提升到5纳米，缔造了一个个中国传奇。

然而，这份亮眼的成绩单，却让尹志尧的几个前东家感受到了压力。

最先跳出来的是应用材料公司。2007年10月，他们向法院提出诉讼，状告尹志尧和中微公司侵犯商业秘密。理由是，中微公司的核心技术人员都曾在硅谷的相关公司工作。

作为芯片制造装备研发领域的专家，尹志尧深知专利技术的壁垒，又怎会犯这种原则性的错误？从研发的第一天起，他就要求团队成员不光要避开行业内的几百个技术专利，还要避开原公司的所有设计方案。这样做，既能避免纠纷，也可以保护中微公司的知识产权。

这场官司打了两年半，美国律师在彻查了中微公司内部的600多万份文件后，证实中微公司的刻蚀机技术全部是自己研发的。铁证如山，应用材料公司只得铩羽而归。

而在中微公司与应用材料公司的官司还未了结前，泛林集团也向法院起诉中微公司侵权。当起诉被驳回后，中微公司以侵犯商业机密为由，向泛林集团提起了诉讼。

泛林集团万万没想到，这支回旋镖最终还是扎到了自己身上。法院判决泛林集团侵权责任成立，勒令泛林集团销毁与中微公司刻蚀机技术相关的所有文件和照片，此事才算尘埃落定。

都说对手是最好的老师，多年来，美国在芯片技术方面的“卡脖子”举措，反而极大地推动了我国集成电路产业自主研制的进程。

作为世界一流的科学家，尹志尧有着非同一般的眼光与格局。比如，中微公司采取的是员工全员持股制。

在中微公司市值到达1000亿元那天，全公司750人中，有50人的身家超过1亿元；375人的身家在1000万元到1亿元之间；就连入职才两三年的新员工，也有100万元到1000万元的身家。出乎意料的是，作为中微公司创始人的尹志尧，却只持有公司0.7%的股份。

从硅谷精英到中国民族工业的重要建设者，尹志尧用20多年的时间诠释了什么是赤子之心。

从花甲之年归国创业，到带领中微公司打破国际垄断，尹志尧的故事不仅是中国芯片崛起的缩影，更是一曲永不言败的科技战歌。

“芯片战争”未有终局，但尹志尧的信念始终如一。“哪怕我们起步晚了一些，只要咬牙坚持下去，就一定能做到世界前沿。”尹志尧说。

中国科技的崛起之势无法阻挡。正如尹志尧永驻“38岁青春”，“中国芯”将永远年轻，永远令人热血沸腾！

（匡 庐摘自微信公众号“最华人”，本刊节选）